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廠址:北(běi)京市通(tōng)州區(qū)聯東U谷科技園中區(qū)景盛南(nán)四街(jiē)15号12I廠房(fáng)(中關村(cūn)科技園金橋科技産業基地)
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亞微米倒裝芯片貼片機T8WS(氣浮式)
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詳細介紹

  特點:
  1、适用(yòng)于半導體集成電路生産過程(後道封裝)中片式元器件貼裝,實現點膠、沾膠、粘片、貼片、晶圓粘片、倒封裝、GaAs,粘片壓力可(kě)控,精度高(gāo)。
  2、采用(yòng)精密磁懸浮運動平台,主系統X、Y軸采用(yòng)帶有高(gāo)解析度直線編碼器的(de)無接觸無摩擦磁懸浮系統。編碼器刻度達0.02μm精度,可(kě)實現高(gāo)速、精密、亞微米級的(de)定位。
  3、平台的(de)設計采用(yòng)高(gāo)穩定的(de)花崗岩一體化(huà)高(gāo)速運動平台,使T8W在保證熱(rè)穩定和(hé)機械穩定的(de)同時(shí),實現高(gāo)速啓動時(shí)間和(hé)+/-0.5μm乃至更好的(de)貼片精度,從而滿足高(gāo)精密的(de)應用(yòng)要求。
  4、具備獨立的(de)點膠控制軟件進行膠水(shuǐ)形狀和(hé)路徑的(de)任意設置,可(kě)以實現點、線、平面、非平面、弧形、圓形等任意形狀的(de)點膠。同時(shí)配置獨立的(de)點膠控制器。點膠控制器有獨立的(de)算(suàn)法,膠水(shuǐ)多(duō)的(de)時(shí)候,氣體壓力會根據算(suàn)法自動加大(dà)。膠水(shuǐ)少的(de)時(shí)候,氣體壓力會根據算(suàn)法自動降低壓力。實現膠水(shuǐ)點膠的(de)一緻性。
  5、圖像識别系統包括兩組獨立的(de)識别系統。頂部系統配置德國原裝工業相機,實現電路闆MARK點、焊盤的(de)識别,底部系統配置德國原裝工業相機,配置6種以上的(de)圖像識别算(suàn)法,可(kě)以實現相關原材料包括管腳、異形件、小型基闆等精密識别。
  6、貼片機具備自動校準功能,在使用(yòng)時(shí)可(kě)以根據要求設置多(duō)少次運動之後自動進行X Y軸運動精度的(de)校準,也(yě)可(kě)以在發現設備定位不準确時(shí),通(tōng)過三維自動校準進行運動軸的(de)校準。同時(shí)通(tōng)過底部圖像識别系統,進行點膠機點膠針頭和(hé)吸嘴的(de)自動校準。
  7、旋轉角度:設備具備360度旋轉功能,旋轉分(fēn)辨精度爲0.01度,可(kě)以實現組裝過程中任意角度的(de)芯片貼裝。
  8、設備配置兩組點膠機,通(tōng)過軟件可(kě)以選擇用(yòng)點膠1或2,或者點膠1 /2 同時(shí)工作。可(kě)以同時(shí)使用(yòng)兩種粘結劑,也(yě)可(kě)以同時(shí)使用(yòng)兩種不同直徑的(de)針頭來(lái)點膠。
  設備優勢:
  1.可(kě)自由配置的(de)工作區(qū)域
  頂裝構架式設計提供了(le)大(dà)工作空間。系統可(kě)以從華夫盤,晶圓喂料器和(hé)帶式喂料器等喂料方式的(de)任意組合取料。晶圓取料時(shí),系統采用(yòng)馬達驅動的(de)、壓力受控的(de)升降機構拾取薄芯片和(hé)大(dà)縱橫比的(de)芯片,并可(kě)進行精密補償。墨點識别及晶圓測繪功能保證隻拾取已知的(de)好的(de)芯片。700 平方英寸的(de)工作區(qū)域可(kě)輕易容下(xià)多(duō)種送料及出料方式的(de)組合。
 
  2.适用(yòng)于裝配的(de)壓力控制
  T8WS配有閉環壓力反饋功能,使之可(kě)以非常好地處理(lǐ)砷化(huà)镓(GaAs)和(hé)磷化(huà)铟(InP)器件以及諸如MEMS這(zhè)樣的(de)易碎器件。芯片貼放力可(kě)低至100克,因此像空氣橋這(zhè)樣的(de)易碎微觀結構不會被破壞。每次貼放的(de)壓力均通(tōng)過編程控制,因此每個(gè)芯片的(de)拾取和(hé)貼放都是在編程控制的(de)壓力下(xià)進行的(de),來(lái)幫助保證錫膏或膠層厚度的(de)一緻性。
 
  3.物(wù)料輸送
  T8WS既符合專門的(de)大(dà)批量生産的(de)要求,又具有足夠的(de)靈活性适應小批量生産。其既可(kě)配置爲單機生産,采用(yòng)料盒至料盒式材料輸送方式,也(yě)可(kě)與其他(tā)加工設備進行連線。
 
  4.先進的(de)圖像定位和(hé)視覺系統
  先進的(de)視覺系統可(kě)在360°範圍内進行的(de)芯片的(de)快(kuài)速探測和(hé)定位,并具有強大(dà)的(de)基片基點校準能力。這(zhè)令諸如MMICs和(hé)梁式引線二極管等定向要求高(gāo)的(de)芯片的(de)校準成爲可(kě)能。視覺系統根據基片基點、芯片邊緣或之前貼放的(de)芯片特征點的(de)相對(duì)位置校準并貼放芯片。這(zhè)保證了(le)光(guāng)學和(hé)微波器件對(duì)位的(de)重複精度及準确度。采用(yòng)了(le)邊界識别或圖形識别功能,以定位芯片中心、邊緣或關鍵的(de)應用(yòng)特征。快(kuài)速定位功能可(kě)以使諸如MMICs和(hé)激光(guāng)器這(zhè)樣的(de)芯片可(kě)無需經過任何預定位而直接上機加工。全局和(hé)局部視覺校準功能應用(yòng)于嵌入式基片和(hé)特征碼校準。使複雜(zá)組裝的(de)加工快(kuài)速而準确。
  T8WS視覺系統的(de)頂部及底部相機都具有多(duō)個(gè)放大(dà)倍率,并配有可(kě)編程光(guāng)源。T8WS采用(yòng)一台底部相機進行倒裝芯片及其它具有底部特征的(de)零件的(de)生産。
 
  5.可(kě)編程的(de)多(duō)色背景光(guāng)照(zhào)明(míng)
  每台相機的(de)環形光(guāng)和(hé)同軸光(guāng)的(de)光(guāng)強度編程可(kě)調,從而确定合适的(de)光(guāng)源以進行芯片對(duì)位和(hé)識别。多(duō)色背景光(guāng)可(kě)用(yòng)于處理(lǐ)範圍寬廣的(de)各種材料。紅-綠-藍可(kě)編程光(guāng)源(選配)爲加工挑戰性的(de)校準表面(如氧化(huà)鋁陶瓷上的(de)金線)提供了(le)更強的(de)能力。強大(dà)的(de)視覺系統保證生産不會因校準錯漏而中斷。
 
  6.真空共晶焊功能
  T8WS可(kě)選配真空共晶焊功能。T8WS支持多(duō)種共晶制程,包括金-矽、金-錫和(hé)金-鍺。其具有的(de)功能,包括可(kě)快(kuài)速、閉環、加熱(rè)升溫的(de)加熱(rè)回流爐,共晶爐可(kě)編程,以符合您共晶工藝的(de)要求,升溫速率可(kě)編程控制,使零件的(de)共晶可(kě)靠性更高(gāo),同時(shí)避免了(le)熱(rè)沖擊。T8WS同時(shí)支持直接共晶和(hé)回流共晶,具備可(kě)控的(de)接觸壓力和(hé)可(kě)編程的(de)正壓和(hé)負壓調節功能。溫度可(kě)達500°C以上。
  預熱(rè)系統可(kě)選配氮氣保護和(hé)氫氮混合氣體的(de)保護,防止工件和(hé)基闆氧化(huà)。系統自動地将基片或封裝轉移到真空共晶爐上,完成真空共晶功能。
  除可(kě)封裝諸如放大(dà)器這(zhè)樣的(de)大(dà)功率器件之外,T8WS的(de)這(zhè)些特性還(hái)可(kě)應用(yòng)于光(guāng)學設備上的(de)光(guāng)學組件的(de)大(dà)批量生産,如在基闆上、TO管殼和(hé)蝶形封裝等上面的(de)共晶焊。
 
  7.帶激光(guāng)測距的(de)錫膏噴印和(hé)點膠功能
  設備可(kě)配置用(yòng)于點導電&絕緣環氧樹脂用(yòng)的(de)精密點膠控制儀/精密錫膏噴印控制器,精密激光(guāng)高(gāo)度測距儀,以及點膠針頭自動定位和(hé)清潔,确保高(gāo)精密的(de)點膠或區(qū)域填充。
  通(tōng)過高(gāo)精度的(de)激光(guāng)高(gāo)度檢測,T8W實現了(le)精密點膠功能。每次校準都通(tōng)過激光(guāng)檢測幾點的(de)高(gāo)度,确定每個(gè)點膠表面的(de)坡度。
 
  8.功能強大(dà)的(de)控制系統和(hé)離線編程系統
  T8WS基于Windows的(de)直觀的(de)圖形化(huà)用(yòng)戶界面簡化(huà)了(le)設置和(hé)生産工藝。軟件系統含有一套爲華夫盤及芯片預編程的(de)程序庫,其組件輕松易學且所有基片程序均可(kě)采用(yòng)。XML格式的(de)數據庫可(kě)簡化(huà)數據操作及離線編程。全新的(de)視覺工具,如可(kě)調目标區(qū)域、加強的(de)增益控制、濾波器和(hé)圖形匹配等,可(kě)實現具有挑戰性的(de)基片和(hé)芯片材料的(de)視覺化(huà)處理(lǐ)。CAD下(xià)載功能、先進的(de)校準程序、根據進料盤的(de)二維碼自動調用(yòng)程序的(de)功能、材料追溯功能及可(kě)聯網功能等,意味著(zhe)幾乎不用(yòng)花時(shí)間在編程上,從而優化(huà)了(le)生産效率和(hé)設備利用(yòng)率。
  T8W控制平台通(tōng)過基于總線控制的(de)運動系統及所有軸(包括傳送帶)的(de)驅動器,實現了(le)更加平滑、更加精密的(de)控制。計算(suàn)機硬件配置了(le)前端USB接口以便于應用(yòng),具有備份功能雙硬盤驅動器保證的(de)數據安全及更短的(de)停機時(shí)間和(hé)更快(kuài)的(de)數據恢複。
 
  9.真正的(de)交鑰匙式工程
  TORCH爲封裝提供一整套解決方案,包括高(gāo)速精密貼片機、銀漿點膠機、錫膏噴印機、環氧點膠機等一系列産品。SMEMA兼容接口使T8WS可(kě)與包括連線真空焊接爐在内的(de)多(duō)種設備集成,從而形成一套交鑰匙式的(de)生産解決方案。TORCH高(gāo)可(kě)靠性的(de)系統及本地化(huà)的(de)技術服務支持承諾,意味著(zhe)您的(de)設備将可(kě)一直滿足生産需求。
 
  10、其他(tā)功能及參數
  1、貼片速度:1500UPH
  2、倒裝片貼裝速度:800UPH
  3、料盒或盤料供料:容納多(duō)達20個(gè)2”x2”華夫盤或10個(gè)4”x4”料盒或組合料盤。
  4、編帶供料:8mm、12mm、16mm、24mm、32mm、44mm,可(kě)安裝最多(duō)16個(gè)8mm喂料器。
  5、晶圓供料:可(kě)支持最大(dà)8英寸晶圓,配有馬達驅動Z軸頂針機械裝置及固晶環等。
  6、芯片尺寸:最小0.15-5mm,更換吸頭
  7、芯片厚度:0.05-2mm厚的(de)芯片或焊片
  8、真空共晶爐:最高(gāo)可(kě)達500°C,真空度根據選配真空泵不同,在10-4pa-500pa之間。溫度采用(yòng)可(kě)編程溫度控制器控溫。
  9、計算(suàn)機采用(yòng)工業級工控機,計算(suàn)機CPU爲i7處理(lǐ)器,主頻(pín)不小于2.0GHz;内存不小于4G,硬盤不小于500G,帶2個(gè)千兆網口。
  10、數據采集卡爲16位,16路,采樣速率爲250K;
  11、設備帶2個(gè)點膠機,通(tōng)過點膠控制器,調整時(shí)間、壓力、真空吸力、點膠均勻度算(suàn)法一起配合完成高(gāo)精密點膠。
  12、設備帶兩組德國原裝的(de)basler工業上視相機。
  13、設備的(de)載物(wù)台能夠擺放16組以上的(de)華夫盤。
  14、貼片機的(de)觀察窗(chuāng)材料爲PC防靜電耐火材料。
  15、編程之後儲存,使用(yòng)的(de)時(shí)候通(tōng)過調用(yòng)保存的(de)程序就可(kě)實現自動化(huà)生産。
  16、具有三維自動校準軟件,能夠對(duì)所編寫的(de)程序進行無數個(gè)版本的(de)備份。
  17、可(kě)以針對(duì)每個(gè)芯片設置獨立的(de)貼裝壓力,然後通(tōng)過軟件進行反饋控制貼裝壓力。
  18、設備可(kě)以通(tōng)過軟件,對(duì)X軸、Y軸、Z軸、theta軸進行回零速度、自檢速度、貼裝速度、貼裝壓力等不同狀态下(xià)運動速度的(de)分(fēn)别設定。
  19、能夠通(tōng)過軟件控制真空吸嘴的(de)開關
  20、設備采用(yòng)模塊設計方便維修,易損件、關鍵部件均提供1套備件。
  21、整機具有防護裝置,機器正常工作時(shí)人(rén)手無法伸入機器内部。機蓋開啓急停保護。

T8W詳細參數:
參數類型 T8WS(氣浮式)
X/Y軸行程 400*400mm
編碼器 0.2μm or 20μm fμndamental
X/Y軸分(fēn)辨率 0.11μm
貼片速度 1500UPH
倒裝片貼裝速度 800UPH
定位精度 +/-1μm
重複定位精度 +/-0.5μm
直線度 +/-1μm
平面度 +/-1μm
貼裝精度 ±0.3μm真實徑向定位(取決于應用(yòng))
貼裝重複精度 ±0.3μm@3sigma
最大(dà)速度 1000mm/s或40英寸/秒
最大(dà)加速度 2G
Z軸貼放 根據壓力或高(gāo)度貼放
壓力控制 通(tōng)過實時(shí)反饋控制對(duì)每次貼放進行編程,壓力範圍1-40N
Z軸行程和(hé)分(fēn)辨度 15mm/0.1um
R軸貼裝重複精度 0.1°@3sigma
貼片頭R軸旋轉角度 ≥360°
R軸精度分(fēn)辨度 0.01°
運動平台 高(gāo)精密磁懸浮式實心花崗岩平台(氣浮式)
運動系統 采用(yòng)進口運動控制卡和(hé)編碼器
編帶供料 8mm、12mm、16mm、24mm、32mm、44mm,可(kě)安裝最多(duō)16個(gè)8mm喂料器。
芯片尺寸 最小0.05-5mm,更換吸嘴
芯片厚度 0.05-2mm厚的(de)芯片或焊片
重量 1600kg
外形體積 1730(L)×1400(W)×1480(H)(不含地腳高(gāo)度)

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