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SMT工藝類設備
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廠址：北(běi)京市通(tōng)州區(qū)聯東U谷科技園中區(qū)景盛南(nán)四街(jiē)15号12I廠房(fáng)（中關村(cūn)科技園金橋科技産業基地）
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擴散爐TK180
産品類别：  PCB制闆設備
産品型号：  TK180
産品特點：  擴散爐
應用(yòng)範圍：  SMT電子行業
詳細規格下(xià)載
   
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詳細介紹
【商品名稱】：擴散爐TK180  
【生産廠家】：同志科技
【商品規格】：TK180		  
【商品簡介】：
         擴散爐專門設計用(yòng)于半導體材料擴散、氧化(huà)工藝；同時(shí)也(yě)用(yòng)于太陽能電池行業的(de)氮化(huà)矽、磷矽玻璃、硼磷矽玻璃、多(duō)晶矽等多(duō)種渡膜（LPCVD）工藝。 窯爐采用(yòng)FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲，氣煉石英管作爲爐膛, 可(kě)預抽真空并可(kě)通(tōng)入參與反應沉積的(de)氣體。
　　 溫度控制系統選用(yòng)日本進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設計隔闆結構，恒溫區(qū)溫度均勻。進口或國産氣氛控制系統，質量流量計控制。設備具有溫度均勻、控制穩定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快(kuài)、節能、使用(yòng)溫度高(gāo)、壽命長(cháng)等特點，是理(lǐ)想企業的(de)研制、生産設備。
 
【備　　注】：
主要技術參數見下(xià)表：

項目		 參數
爐膛尺寸 ф180（外徑）×2200 mm
加熱(rè)區(qū)長(cháng) 700 mm
溫區(qū)點數 3 點/單管
工作溫度 RT～ 1200℃ （最高(gāo)爐溫 1250℃ ）
控制精度 ±1 ℃
報警保護 超溫、欠溫、斷偶、等報警保護
升溫功率 12 KW/單管
重量 550 Kg
注：用(yòng)戶有何特殊要求可(kě)協商。

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本頁關鍵詞：擴散爐,擴散,半導體材料擴散爐,擴散工藝,氧化(huà)工藝,渡膜工藝
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工廠地址：北(běi)京市通(tōng)州區(qū)聯東U谷科技園中區(qū)景盛南(nán)四街(jiē)15号12I廠房(fáng)（中關村(cūn)科技園金橋科技産業基地）
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