【商品簡介】： 擴散爐專門設計用(yòng)于半導體材料擴散、氧化(huà)工藝；同時(shí)也(yě)用(yòng)于太陽能電池行業的(de)氮化(huà)矽、磷矽玻璃、硼磷矽玻璃、多(duō)晶矽等多(duō)種渡膜（LPCVD）工藝。 窯爐采用(yòng)FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲，氣煉石英管作爲爐膛, 可(kě)預抽真空并可(kě)通(tōng)入參與反應沉積的(de)氣體。 溫度控制系統選用(yòng)日本進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設計隔闆結構，恒溫區(qū)溫度均勻。進口或國産氣氛控制系統，質量流量計控制。設備具有溫度均勻、控制穩定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快(kuài)、節能、使用(yòng)溫度高(gāo)、壽命長(cháng)等特點，是理(lǐ)想企業的(de)研制、生産設備。
【備 注】：
主要技術參數見下(xià)表：
項目
參數
爐膛尺寸
ф180（外徑）×2200 mm
加熱(rè)區(qū)長(cháng)
700 mm
溫區(qū)點數
3 點/單管
工作溫度
RT～ 1200℃ （最高(gāo)爐溫 1250℃ ）
控制精度
±1 ℃
報警保護
超溫、欠溫、斷偶、等報警保護
升溫功率
12 KW/單管
重量
550 Kg
注：用(yòng)戶有何特殊要求可(kě)協商。
