【備 注】：
TG2U型光(guāng)刻機主要技術參數見下(xià)表：
項目 |
參數 |
适用(yòng)的(de)掩模尺寸 |
a.100X100X2－3mm；b.75X75X2—3mm；c.63X63X2—3(選購(gòu))； |
适用(yòng)的(de)矽片尺寸 |
φ35—75mm |
光(guāng)刻圖形線條 |
3-4μm, 最細可(kě)達2μm |
掩模與矽片之間的(de)相對(duì)位移範圍 |
X/Y±2.5mm,(族轉) ±6° |
承片台(矽片)繞主軸旋轉 |
粗調360度,可(kě)微調 |
承片工作台綜合移動範圍 |
X,Y合成φ75mm |
承片台的(de)球座平面至掩模闆面升降 |
0—7.5mm |
曝光(guāng)燈源 |
GCQ200W超高(gāo)壓汞燈，曝光(guāng)波長(cháng)，300―436nm |
曝光(guāng)系統能量不低于 |
7mw |
曝光(guāng)系統的(de)照(zhào)度均勻度在φ75mm範圍内 |
±5％ |
顯微鏡的(de)照(zhào)明(míng)波長(cháng) |
≈545nm |
曝光(guāng)時(shí)間控制範圍 |
0.1秒—99分(fēn) |
雙目顯微鏡的(de)放大(dà)倍數 |
a.目鏡共二種:10X,16X；b.平視場(chǎng)物(wù)鏡共三種:6X,9X,15X；c.合成放大(dà)倍率:60X—240X； |
真空接觸壓力 |
≥0.7kgf |
裝箱尺寸 |
1000X850X980mm(2隻) |
裝箱重量 |
200kg |
注：用(yòng)戶有何特殊要求可(kě)協商。 |
