【商品簡介】：
擴散爐專門設計用(yòng)于半導體材料擴散、氧化(huà)工藝；同時(shí)也(yě)用(yòng)于太陽能電池行業的(de)氮化(huà)矽、磷矽玻璃、硼磷矽玻璃、多(duō)晶矽等多(duō)種渡膜（LPCVD）工藝。 窯爐采用(yòng)FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲，氣煉石英管作爲爐膛, 可(kě)預抽真空并可(kě)通(tōng)入參與反應沉積的(de)氣體。
溫度控制系統選用(yòng)日本進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設計隔闆結構，恒溫區(qū)溫度均勻。進口或國産氣氛控制系統，質量流量計控制。設備具有溫度均勻、控制穩定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快(kuài)、節能、使用(yòng)溫度高(gāo)、壽命長(cháng)等特點，是理(lǐ)想企業的(de)研制、生産設備。 |
