真空燒結工藝介紹

一．工作原理(lǐ)

真空燒結是針對(duì)粉狀及塊狀材料進行成型（成品及半成品）燒結的(de)工藝。

基本工藝過程是：将被燒結的(de)材料（粉狀或塊狀）放置于真空爐内，關好爐門進行爐内抽真空。将爐内真空度抽至所需要的(de)工作真空度（一般爲 3×10-3 Pa）立即充氣，完成燒結的(de)整個(gè)工藝。
 

二．真空燒結的(de)特色

真空燒結工藝過程：粉狀材料經過配料混合壓制成各種需要的(de)形狀，将壓制成型的(de)坯料，放入真空燒結爐内。關閉爐門抽真空，真空度達到所需的(de)工作真空度（一般爲2～3×10-3Pa）開始加熱(rè)，（由于材料的(de)不同所采取的(de)工藝過程不同）加熱(rè)按工藝曲線加至燒結溫度，充氣冷(lěng)卻至出爐溫度，打開爐門取出工件，完成整個(gè)燒結過程。
 

三．真空燒結特點

燒結産品緻密性好，硬度高(gāo)，性能穩定。 抽真空系統配置性能優越，具有大(dà)抽氣量、抽速快(kuài)，能解決原材料放氣量大(dà)的(de)問題。 能滿足不同工藝曲線要求，自動化(huà)程度高(gāo)，檢測系統完善，能避免由于一些人(rén)爲因素造成的(de)不良影(yǐng)響。燒結工藝靈活，可(kě)根據不同合同燒結出不同形狀的(de)産品。
 

四．真空燒結設備

真空燒結爐 （内循環形式）

适用(yòng)于稀土永磁材料的(de)真空燒結、金剛石工具的(de)燒結（焊接）和(hé)真空熱(rè)處理(lǐ)工藝。該設備是在消化(huà)吸收國外處理(lǐ)設備優點的(de)基礎上，曆經多(duō)次改進和(hé)完善，具有大(dà)抽氣量、高(gāo)真空度、溫度均勻可(kě)控和(hé)無滲漏等特點。設計并生産了(le)有内循環、外循環、雙室保護進料和(hé)多(duō)室（台）組合式進料等多(duō)種形式。

真空燒結爐 （外循環形式）

适用(yòng)于批量生産，最高(gāo)溫度可(kě)以達到1450度，壓力可(kě)以達到2×10-3pa,壓降率可(kě)以達到0.5pa/h,整體溫度的(de)均勻性可(kě)以達到±3度.
 

五．發展趨勢
真空燒結工藝是目前比較先進的(de)制造工藝技術，而且愈來(lái)愈多(duō)的(de)應用(yòng)在各行業的(de)燒結工藝中。例如象半導體、陶瓷、超硬材料等的(de)制造工藝中，将越來(lái)越廣泛的(de)使用(yòng)真空燒結工藝技術和(hé)設備。

中科同志針對(duì)半導體行業，專門開發了(le)真空燒結爐。在晶圓生産、激光(guāng)器燒結、激光(guāng)雷達燒結等領域積累的(de)豐富的(de)真空燒結工藝。